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Fabrication de circuits microfluidiques PDMS

publié le , mis à jour le

La fabrication des circuits microfluidiques en PDMS est une part importante de l’activité de microFab , car la demande interne à LIPhy est forte, notamment auprès de l’équipe DyFCoM. Cette partie du travail est assurée par Danièle CENTANNI, qui gère le fonctionnement de la salle blanche située en salle 132 du laboratoire. Elle prend en charge toute la chaine de fabrication de ces micro-dispositifs, après définition avec le demandeur. Les principales étapes de fabrication d’une empreinte sont :

- mise en forme du masque représentant le circuit
- dépôt de la résine photosensible sur plaque de silicium 3"
- masquage et révélation de l’empreinte du circuit

et si le demandeur souhaite un produit fini...
- moulage du PDMS sur cette empreinte
- collage sur lame de verre
- mise en place de la connectique fluidique

Ci-dessous un exemple de moule en SU8 avant moulage par la résine PDMS (épaisseur de SU8 de 140microns)

Exemple d’application des circuits PDMS...
Pour voir d’autres réalisation...

Une plaque "empreinte" dite "test" peut être générée à partir d’un masque 5000 DPI et pour une meilleure résolution le masque souple utilisé peut aller jusqu’à 25400 DPI ou si besoin avec un masque sur verre ou quartz. Sachez que sur chaque plaque de taille 3", on peut disposer 2 circuits microfluidiques (40x22mm²). Après nettoyage, une empreinte peut être utilisée pour faire un nouveau moulage en PDMS.

Pour un premier contact, veuillez joindre Michel Bouriau